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Estudo da deposição química de Níquel em Microeletrônica PDF

Angelo Eduardo Battistini Marques

Neste trabalho mostramos o estudo e a caracterização de diversos processos de deposição química autocatalítica de níquel para aplicações em microeletrônica e nanotecnologia. São mostrados processos de deposição química por diversas técnicas, bem como os resultados de análises de composição química, rugosidade superficial e espessura de filmes de Níquel e ligas Níquel-Fósforo pelas técnicas de RBS, AFM, TRXFA. Também é mostrada a caracterização elétrica de capacitores MOS construídos com essa técnica de deposição.

Estudo da deposição química de Níquel em Microeletrônica ...

3.44 MB DATEIGRÖSSE
9783330735996 ISBN
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Sofya Voigtuh

de níquel químicos quanto à: composição, morfologia e microestrutura. ... que necessitem maior precisão da camada depositada, como em microeletrônica. ... O estudo que envolve a técnica de deposição por corrente pulsada de metais e ...

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Mattio Müllers

“Quantidade em Química.” 1- Massa atómica relativa. i) Toma-se como referência 1/12 da massa do átomo de carbono 12 (12C 6) ii) A massa atómica relativa de um determinado elemento corresponde ao número de vezes que a massa de um átomo desse elemento é maior do que 1/12 da massa do átomo de carbono 12. (ex: 12m é 12×1m).

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Noels Schulzen

A deposição da liga acontece através da reação química ou autocatalítica entre os agentes dissolvidos (Sulfato de Níquel + Hipofosfito de Sódio) em solução aquosa, quando a peça é imersa nesta solução após pré-tratamento apropriado ,todas as suas superfícies são revestidas com camadas totalmente uniformes da liga de níquel

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Jason Leghmann

Escola Politécnica da Universidade de São Paulo Estudo experimental da deposição química autocatalítica de níquel para aplicações em microeletrônica. Tese (Doutorado em Engenharia Elétrica) - Universidade de São Paulo, . 2003. Orientador: Sebastiao Gomes dos Santos Filho. 92. Antonio Barreto.

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Jessica Kolhmann

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